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电子行业EDI超纯水设备

产品介绍

  电子行业超纯水设备是一款半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。

工艺设计

  1、采用离子交换方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点

  2、采用两级反渗透方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

  3、采用高效反渗透加EDI方式,其流程如下(最新工艺性价比最高):自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

设备特点

  1.制取电子级超纯水

  2.可连续自动生产,不必停机再生

  3.出水水质优于常规离子交换法

  4.不需酸碱再生,不污染环境

  5.运行成本低,占地面积小

技术参数
电导率:2-10μS/cm(25℃)
PH值:6.5-9
水温度:5~35℃
总硬度:<0.5ppm
有机物:<0.5 ppm,TOC为零
氧化物:≤0.05ppm
铁、锰:<0.01ppm
二氧化硅:<0.05 ppm
二氧化碳:<5ppm
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